Replication of mold for UV-nanoimprint lithography using AAO membrane
文献类型：期刊论文
| 作者 | Zhou, WM ; Zhang, J ; Li, XL ; Liu, YB ; Min, GQ ; Song, ZT ; Zhang, JP |
| 刊名 | APPLIED SURFACE SCIENCE
 |
| 出版日期 | 2009 |
| 卷号 | 255期号:18页码:8019-8022 |
| 关键词 | PATTERN TRANSFER FABRICATION ARRAYS NANOSTRUCTURES RESOLUTION NANOTUBES ALUMINUM METAL |
| ISSN号 | 0169-4332 |
| 通讯作者 | Zhou, WM, SNPC, Lab Nanotechnol, Shanghai 200237, Peoples R China |
| 学科主题 | Chemistry, Physical; Materials Science, Coatings & Films; Physics, Applied; Physics, Condensed Matter |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2012-03-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/94782]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhou, WM,Zhang, J,Li, XL,et al. Replication of mold for UV-nanoimprint lithography using AAO membrane[J]. APPLIED SURFACE SCIENCE,2009,255(18):8019-8022. |
| APA | Zhou, WM.,Zhang, J.,Li, XL.,Liu, YB.,Min, GQ.,...&Zhang, JP.(2009).Replication of mold for UV-nanoimprint lithography using AAO membrane.APPLIED SURFACE SCIENCE,255(18),8019-8022. |
| MLA | Zhou, WM,et al."Replication of mold for UV-nanoimprint lithography using AAO membrane".APPLIED SURFACE SCIENCE 255.18(2009):8019-8022. |
入库方式： OAI收割
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