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ELECTRONIC-PROPERTIES OF A-SI-H AND A-SI-F FILMS PRODUCED BY ION-IMPLANTATION

文献类型:期刊论文

作者BOHRINGER, K ; LIU, XH ; KALBITZER, S
刊名JOURNAL OF PHYSICS C-SOLID STATE PHYSICS
出版日期1983
卷号16期号:33页码:L187-L192
ISSN号0022-3719
通讯作者BOHRINGER, K, MAX PLANCK INST NUCL PHYS,D-6900 HEIDELBERG,FED REP GER
学科主题Physics, Condensed Matter
收录类别SCI
语种英语
公开日期2012-03-25
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/98026]  
专题上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文(1999年以前)
推荐引用方式
GB/T 7714
BOHRINGER, K,LIU, XH,KALBITZER, S. ELECTRONIC-PROPERTIES OF A-SI-H AND A-SI-F FILMS PRODUCED BY ION-IMPLANTATION[J]. JOURNAL OF PHYSICS C-SOLID STATE PHYSICS,1983,16(33):L187-L192.
APA BOHRINGER, K,LIU, XH,&KALBITZER, S.(1983).ELECTRONIC-PROPERTIES OF A-SI-H AND A-SI-F FILMS PRODUCED BY ION-IMPLANTATION.JOURNAL OF PHYSICS C-SOLID STATE PHYSICS,16(33),L187-L192.
MLA BOHRINGER, K,et al."ELECTRONIC-PROPERTIES OF A-SI-H AND A-SI-F FILMS PRODUCED BY ION-IMPLANTATION".JOURNAL OF PHYSICS C-SOLID STATE PHYSICS 16.33(1983):L187-L192.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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