A WAVE-GUIDING LAYER FORMED BY H+ IMPLANTATION IN LINBO3
文献类型：期刊论文
| 作者 | SHAO, TH ; JINAG, XY ; ZHANG, L ; FENG, XQ |
| 刊名 | VACUUM
 |
| 出版日期 | 1992 |
| 卷号 | 43期号:11页码:1069-1070 |
| ISSN号 | 0042-207X |
| 关键词 | ION-IMPLANTATION WAVE-GUIDES |
| 通讯作者 | SHAO, TH, ACAD SINICA,SHANGHAI INST MET,SHANGHAI 200050,PEOPLES R CHINA |
| 学科主题 | Materials Science, Multidisciplinary; Physics, Applied |
| 收录类别 | SCI |
| 原文出处 | http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/0042207X9290333R |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2012-03-25 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/98404]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文（1999年以前) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | SHAO, TH,JINAG, XY,ZHANG, L,et al. A WAVE-GUIDING LAYER FORMED BY H+ IMPLANTATION IN LINBO3[J]. VACUUM,1992,43(11):1069-1070. |
| APA | SHAO, TH,JINAG, XY,ZHANG, L,&FENG, XQ.(1992).A WAVE-GUIDING LAYER FORMED BY H+ IMPLANTATION IN LINBO3.VACUUM,43(11),1069-1070. |
| MLA | SHAO, TH,et al."A WAVE-GUIDING LAYER FORMED BY H+ IMPLANTATION IN LINBO3".VACUUM 43.11(1992):1069-1070. |
入库方式： OAI收割
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