GRAZING-ANGLE RBS AND CHANNELING ANALYSIS OF BF2+ IMPLANTATION DAMAGE IN SILICON
文献类型：期刊论文
| 作者 | LIN, CL ; ZHOU, ZY ; HEMMENT, PLF ; LI, XQ ; YANG, GQ ; ZHU, WH ; Zou, SC(邹世昌） |
| 刊名 | PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH
 |
| 出版日期 | 1994 |
| 卷号 | 142期号:2页码:365-370 |
| ISSN号 | 0031-8965 |
| 通讯作者 | LIN, CL, CHINESE ACAD SCI,SHANGHAI INST MET,STATE KEY LAB FUNCT MAT INFORMAT,SHANGHAI 200050,PEOPLES R CHINA |
| 学科主题 | Materials Science, Multidisciplinary; Physics, Applied; Physics, Condensed Matter |
| 收录类别 | SCI |
| 原文出处 | http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/pssa.2211420209/abstract |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2012-03-25 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/98547]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文（1999年以前) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | LIN, CL,ZHOU, ZY,HEMMENT, PLF,et al. GRAZING-ANGLE RBS AND CHANNELING ANALYSIS OF BF2+ IMPLANTATION DAMAGE IN SILICON[J]. PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH,1994,142(2):365-370. |
| APA | LIN, CL.,ZHOU, ZY.,HEMMENT, PLF.,LI, XQ.,YANG, GQ.,...&Zou, SC.(1994).GRAZING-ANGLE RBS AND CHANNELING ANALYSIS OF BF2+ IMPLANTATION DAMAGE IN SILICON.PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH,142(2),365-370. |
| MLA | LIN, CL,et al."GRAZING-ANGLE RBS AND CHANNELING ANALYSIS OF BF2+ IMPLANTATION DAMAGE IN SILICON".PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH 142.2(1994):365-370. |
入库方式： OAI收割
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