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ION BEAM SYNTHESIS OF THIN FILMS

文献类型:期刊论文

作者Zou, SC(邹世昌)
刊名SECOND INTERNATIONAL CONFERENCE ON THIN FILM PHYSICS AND APPLICATIONS
出版日期1994
卷号2364页码:2-11
学科主题Optics
收录类别SCI
原文出处http://apps.webofknowledge.com/full_record.do?product=UA&search_mode=GeneralSearch&qid=158&SID=Q17j6Ejh3Mi@ML3HG1p&page=4&doc=34
语种英语
公开日期2012-03-25
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/98548]  
专题上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文(1999年以前)
推荐引用方式
GB/T 7714
Zou, SC. ION BEAM SYNTHESIS OF THIN FILMS[J]. SECOND INTERNATIONAL CONFERENCE ON THIN FILM PHYSICS AND APPLICATIONS,1994,2364:2-11.
APA Zou, SC.(1994).ION BEAM SYNTHESIS OF THIN FILMS.SECOND INTERNATIONAL CONFERENCE ON THIN FILM PHYSICS AND APPLICATIONS,2364,2-11.
MLA Zou, SC."ION BEAM SYNTHESIS OF THIN FILMS".SECOND INTERNATIONAL CONFERENCE ON THIN FILM PHYSICS AND APPLICATIONS 2364(1994):2-11.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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