Optical properties of CNx films prepared by filtered arc deposition
文献类型：期刊论文
| 作者 | Chen, ZY ; Zhao, JP ; Yu, YH ; Wang, X ; Yang, SQ ; Shi, TS ; Liu, XH |
| 刊名 | MATERIALS LETTERS
 |
| 出版日期 | 1997 |
| 卷号 | 33期号:1-2页码:85-89 |
| 关键词 | TETRAHEDRAL AMORPHOUS-CARBON NITRIDE |
| ISSN号 | 0167-577X |
| 通讯作者 | Chen, ZY, ACAD SINICA,SHANGHAI INST MET,ION BEAM LAB,SHANGHAI 200050,PEOPLES R CHINA |
| 学科主题 | Materials Science, Multidisciplinary; Physics, Applied |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2012-03-25 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/98835]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文（1999年以前) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Chen, ZY,Zhao, JP,Yu, YH,et al. Optical properties of CNx films prepared by filtered arc deposition[J]. MATERIALS LETTERS,1997,33(1-2):85-89. |
| APA | Chen, ZY.,Zhao, JP.,Yu, YH.,Wang, X.,Yang, SQ.,...&Liu, XH.(1997).Optical properties of CNx films prepared by filtered arc deposition.MATERIALS LETTERS,33(1-2),85-89. |
| MLA | Chen, ZY,et al."Optical properties of CNx films prepared by filtered arc deposition".MATERIALS LETTERS 33.1-2(1997):85-89. |
入库方式： OAI收割
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