Moisture-resistant properties of SiNx films prepared by PECVD
文献类型：期刊论文
| 作者 | Lin, H ; Xu, LQ ; Chen, X ; Wang, XH ; Sheng, M ; Stubhan, F ; Merkel, KH ; Wilde, J |
| 刊名 | THIN SOLID FILMS
 |
| 出版日期 | 1998 |
| 卷号 | 333期号:1-2页码:71-76 |
| ISSN号 | 0040-6090 |
| 通讯作者 | Xu, LQ, Acad Sinica, Shanghai Inst Met, SIM Daimler Benz Lab, Shanghai 200050, Peoples R China |
| 学科主题 | Materials Science, Multidisciplinary; Materials Science, Coatings & Films; Physics, Applied; Physics, Condensed Matter |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2012-03-25 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/98958]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文（1999年以前) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Lin, H,Xu, LQ,Chen, X,et al. Moisture-resistant properties of SiNx films prepared by PECVD[J]. THIN SOLID FILMS,1998,333(1-2):71-76. |
| APA | Lin, H.,Xu, LQ.,Chen, X.,Wang, XH.,Sheng, M.,...&Wilde, J.(1998).Moisture-resistant properties of SiNx films prepared by PECVD.THIN SOLID FILMS,333(1-2),71-76. |
| MLA | Lin, H,et al."Moisture-resistant properties of SiNx films prepared by PECVD".THIN SOLID FILMS 333.1-2(1998):71-76. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。