Diamond surface micromachining technology
文献类型：期刊论文
| 作者 | Yang, YR ; Wang, XD ; Ren, CX ; Xie, JF ; Lu, PF ; Wang, WY |
| 刊名 | DIAMOND AND RELATED MATERIALS
 |
| 出版日期 | 1999 |
| 卷号 | 8期号:10页码:1834-1837 |
| 关键词 | POLYCRYSTALLINE DIAMOND |
| ISSN号 | 0925-9635 |
| 通讯作者 | Yang, YR, Chinese Acad Sci, Shanghai Inst Met, State Key Lab Transducer Technol, 865 Changning Rd, Shanghai 200050, Peoples R China |
| 学科主题 | Materials Science, Multidisciplinary |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2012-03-25 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/99098]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文（1999年以前) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Yang, YR,Wang, XD,Ren, CX,et al. Diamond surface micromachining technology[J]. DIAMOND AND RELATED MATERIALS,1999,8(10):1834-1837. |
| APA | Yang, YR,Wang, XD,Ren, CX,Xie, JF,Lu, PF,&Wang, WY.(1999).Diamond surface micromachining technology.DIAMOND AND RELATED MATERIALS,8(10),1834-1837. |
| MLA | Yang, YR,et al."Diamond surface micromachining technology".DIAMOND AND RELATED MATERIALS 8.10(1999):1834-1837. |
入库方式： OAI收割
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