Squeeze film air damping in MEMS
文献类型：期刊论文
| 作者 | Bao, MH ; Yang, H |
| 刊名 | SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 136期号:1页码:3-27 |
| 关键词 | TORSION MIRROR VACUUM MODEL ACCELEROMETER POLYSILICON SIMULATION |
| ISSN号 | 0924-4247 |
| 通讯作者 | Bao, MH, Fudan Univ, State Key Lab ASIC & Syst, Shanghai 200433, Peoples R China |
| 学科主题 | Engineering, Electrical & Electronic; Instruments & Instrumentation |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2012-03-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/95042]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Bao, MH,Yang, H. Squeeze film air damping in MEMS[J]. SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL,2007,136(1):3-27. |
| APA | Bao, MH,&Yang, H.(2007).Squeeze film air damping in MEMS.SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL,136(1),3-27. |
| MLA | Bao, MH,et al."Squeeze film air damping in MEMS".SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 136.1(2007):3-27. |
入库方式： OAI收割
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