Direct measurement of surface roughness of corner mirrors after vacuum annealing
文献类型：期刊论文
| 作者 | Wang, Y ; Gao, F ; Jiang, J ; Cao, G ; Zhang, F |
| 刊名 | IEE PROCEEDINGS-OPTOELECTRONICS
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 152期号:6页码:353-355 |
| ISSN号 | 1350-2433 |
| 关键词 | SILICON-ON-INSULATOR SIDEWALL ROUGHNESS TURNING MIRRORS WAVE-GUIDES TECHNOLOGY |
| 通讯作者 | Wang, Y, Chinese Acad Sci, Shanghai Inst Microsyst & Informat Technol, Ion Beam Lab, 865 Changning Rd, Shanghai 200050, Peoples R China |
| 学科主题 | Engineering, Electrical & Electronic; Optics; Telecommunications |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2012-03-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/95330]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Wang, Y,Gao, F,Jiang, J,et al. Direct measurement of surface roughness of corner mirrors after vacuum annealing[J]. IEE PROCEEDINGS-OPTOELECTRONICS,2005,152(6):353-355. |
| APA | Wang, Y,Gao, F,Jiang, J,Cao, G,&Zhang, F.(2005).Direct measurement of surface roughness of corner mirrors after vacuum annealing.IEE PROCEEDINGS-OPTOELECTRONICS,152(6),353-355. |
| MLA | Wang, Y,et al."Direct measurement of surface roughness of corner mirrors after vacuum annealing".IEE PROCEEDINGS-OPTOELECTRONICS 152.6(2005):353-355. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。