Roughness and texture correlation of Al films
文献类型：期刊论文
| 作者 | Zhang, WJ ; Yi, LW ; Tu, JN ; Chang, PY ; Mao, DL ; Wu, J |
| 刊名 | JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 34期号:10页码:1307-1309 |
| 关键词 | THIN-FILMS TI ELECTROMIGRATION UNDERLAYER |
| ISSN号 | 0361-5235 |
| 通讯作者 | Zhang, WJ, Chinese Acad Sci, Shanghai Inst Microsyst & Informat Technol, Shanghai 200050, Peoples R China |
| 学科主题 | Engineering, Electrical & Electronic; Materials Science, Multidisciplinary; Physics, Applied |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2012-03-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/95333]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhang, WJ,Yi, LW,Tu, JN,et al. Roughness and texture correlation of Al films[J]. JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS,2005,34(10):1307-1309. |
| APA | Zhang, WJ,Yi, LW,Tu, JN,Chang, PY,Mao, DL,&Wu, J.(2005).Roughness and texture correlation of Al films.JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS,34(10),1307-1309. |
| MLA | Zhang, WJ,et al."Roughness and texture correlation of Al films".JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS 34.10(2005):1307-1309. |
入库方式： OAI收割
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