Analysis of IBAD silicon oxynitride film for anti-reflection coating application
文献类型：期刊论文
| 作者 | Wang,YJ ; Cheng,XL ; Lin,ZL ; Zhang,CS ; Xiao,HB ; Zhang,F ; Zou,SC |
| 刊名 | JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS
 |
| 出版日期 | 2004 |
| 卷号 | 333期号:3页码:296-300 |
| 关键词 | RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY REFRACTIVE-INDEX ON-INSULATOR THIN-FILMS WAVE-GUIDE AUGER-SPECTROSCOPY INTEGRATED-OPTICS NITRIDE FILMS ELLIPSOMETRY LAYERS |
| ISSN号 | 0022-3093 |
| 通讯作者 | Wang, YJ, Chinese Acad Sci, Ion Beam Lab, Shanghai Inst Microsyst & Microsyst & Informat Te, 865 Changning Rd, Shanghai 200050, Peoples R China |
| 学科主题 | Materials Science ; Ceramics; Materials Science ; Multidisciplinary |
| 收录类别 | SCI |
| 公开日期 | 2012-03-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/95399]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Wang,YJ,Cheng,XL,Lin,ZL,et al. Analysis of IBAD silicon oxynitride film for anti-reflection coating application[J]. JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS,2004,333(3):296-300. |
| APA | Wang,YJ.,Cheng,XL.,Lin,ZL.,Zhang,CS.,Xiao,HB.,...&Zou,SC.(2004).Analysis of IBAD silicon oxynitride film for anti-reflection coating application.JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS,333(3),296-300. |
| MLA | Wang,YJ,et al."Analysis of IBAD silicon oxynitride film for anti-reflection coating application".JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS 333.3(2004):296-300. |
入库方式： OAI收割
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