Tensile strength of aluminium nitride films
文献类型：期刊论文
| 作者 | Zong, DG ; Ong, CW ; Aravind, M ; Tsang, MP ; Choy, CL ; Lu, DR ; Ma, DJ |
| 刊名 | PHILOSOPHICAL MAGAZINE
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| 出版日期 | 2004 |
| 卷号 | 84期号:31页码:3353-3373 |
| 关键词 | THIN-FILMS MODULUS ALN BEHAVIOR CERAMICS LOAD |
| ISSN号 | 1478-6443 |
| 通讯作者 | Ong, CW, Hong Kong Polytech Univ, Dept Appl Phys, Kowloon, Hong Kong, Peoples R China |
| 学科主题 | Materials Science, Multidisciplinary; Mechanics; Metallurgy & Metallurgical Engineering; Physics, Applied; Physics, Condensed Matter |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2012-03-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/95467]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zong, DG,Ong, CW,Aravind, M,et al. Tensile strength of aluminium nitride films[J]. PHILOSOPHICAL MAGAZINE,2004,84(31):3353-3373. |
| APA | Zong, DG.,Ong, CW.,Aravind, M.,Tsang, MP.,Choy, CL.,...&Ma, DJ.(2004).Tensile strength of aluminium nitride films.PHILOSOPHICAL MAGAZINE,84(31),3353-3373. |
| MLA | Zong, DG,et al."Tensile strength of aluminium nitride films".PHILOSOPHICAL MAGAZINE 84.31(2004):3353-3373. |
入库方式： OAI收割
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