Ellipsometric evaluation of the sp(3)-bonded carbon fraction in carbon thin films
文献类型：期刊论文
| 作者 | Mo, D ; Li, F ; Chen, DH ; Wei, AXA |
| 刊名 | CHINESE PHYSICS LETTERS
 |
| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 20期号:4页码:462-464 |
| 关键词 | TETRAHEDRAL AMORPHOUS-CARBON DIAMOND FILMS |
| ISSN号 | 0256-307X |
| 通讯作者 | Mo, D, Zhongshan Univ, State Key Lab Optoelect Mat & Technol, Guangzhou 510275, Peoples R China |
| 学科主题 | Physics, Multidisciplinary |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2012-03-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/95474]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Mo, D,Li, F,Chen, DH,et al. Ellipsometric evaluation of the sp(3)-bonded carbon fraction in carbon thin films[J]. CHINESE PHYSICS LETTERS,2003,20(4):462-464. |
| APA | Mo, D,Li, F,Chen, DH,&Wei, AXA.(2003).Ellipsometric evaluation of the sp(3)-bonded carbon fraction in carbon thin films.CHINESE PHYSICS LETTERS,20(4),462-464. |
| MLA | Mo, D,et al."Ellipsometric evaluation of the sp(3)-bonded carbon fraction in carbon thin films".CHINESE PHYSICS LETTERS 20.4(2003):462-464. |
入库方式： OAI收割
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