Study on low voltage actuated MEMS rf capacitive switches
文献类型：期刊论文
| 作者 | Guo, FM ; Zhu, ZQ ; Long, YF ; Wang, WM ; Zhu, SZ ; Lai, ZS ; Li, N ; Yang, GQ ; Lu, W |
| 刊名 | SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL
 |
| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 108期号:1-3页码:128-133 |
| ISSN号 | 0924-4247 |
| 通讯作者 | Guo, FM, E China Normal Univ, Dept Elect Engn, Shanghai 200062, Peoples R China |
| 学科主题 | Engineering, Electrical & Electronic; Instruments & Instrumentation |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2012-03-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/95549]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Guo, FM,Zhu, ZQ,Long, YF,et al. Study on low voltage actuated MEMS rf capacitive switches[J]. SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL,2003,108(1-3):128-133. |
| APA | Guo, FM.,Zhu, ZQ.,Long, YF.,Wang, WM.,Zhu, SZ.,...&Lu, W.(2003).Study on low voltage actuated MEMS rf capacitive switches.SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL,108(1-3),128-133. |
| MLA | Guo, FM,et al."Study on low voltage actuated MEMS rf capacitive switches".SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 108.1-3(2003):128-133. |
入库方式： OAI收割
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