Tetrahedral amorphous-carbon thin films for silicon-on-insulator application
文献类型：期刊论文
| 作者 | Song,ZR ; Yu,YH ; Li,CL ; Zou,SC ; Zhang,FM ; Wang,X ; Shen,DS ; Luo,EZ ; Sundaravel,B ; Wong,SP ; Wilson,IH |
| 刊名 | APPLIED PHYSICS LETTERS
 |
| 出版日期 | 2002 |
| 卷号 | 80期号:5页码:743-745 |
| 关键词 | DIAMOND-LIKE CARBON COMPRESSIVE-STRESS ION ENERGY |
| ISSN号 | 0003-6951 |
| 通讯作者 | Song, ZR, Chinese Acad Sci, Shanghai Inst Met, Ion Beam Lab, Shanghai 200050, Peoples R China |
| 学科主题 | Physics ; Applied |
| 收录类别 | SCI |
| 公开日期 | 2012-03-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/95600]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Song,ZR,Yu,YH,Li,CL,et al. Tetrahedral amorphous-carbon thin films for silicon-on-insulator application[J]. APPLIED PHYSICS LETTERS,2002,80(5):743-745. |
| APA | Song,ZR.,Yu,YH.,Li,CL.,Zou,SC.,Zhang,FM.,...&Wilson,IH.(2002).Tetrahedral amorphous-carbon thin films for silicon-on-insulator application.APPLIED PHYSICS LETTERS,80(5),743-745. |
| MLA | Song,ZR,et al."Tetrahedral amorphous-carbon thin films for silicon-on-insulator application".APPLIED PHYSICS LETTERS 80.5(2002):743-745. |
入库方式： OAI收割
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