Optical and electrical properties of nitrogen incorporated amorphous carbon films
文献类型：期刊论文
| 作者 | Yu, YH ; Chen, ZY ; Luo, EZ ; Cheung, WY ; Zhao, JP ; Wang, X ; Xu, JB ; Wong, SP ; Wilson, IH |
| 刊名 | JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
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| 出版日期 | 2000 |
| 卷号 | 87期号:6页码:2874-2879 |
| 关键词 | CONDUCTION DEPOSITION HYDROGEN RATIO BORON ARC ION |
| ISSN号 | 0021-8979 |
| 通讯作者 | Yu, YH, Chinese Acad Sci, Shanghai Inst Met, Ion Beam Lab, Shanghai 200050, Peoples R China |
| 学科主题 | Physics, Applied |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2012-03-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/95877]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Yu, YH,Chen, ZY,Luo, EZ,et al. Optical and electrical properties of nitrogen incorporated amorphous carbon films[J]. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,2000,87(6):2874-2879. |
| APA | Yu, YH.,Chen, ZY.,Luo, EZ.,Cheung, WY.,Zhao, JP.,...&Wilson, IH.(2000).Optical and electrical properties of nitrogen incorporated amorphous carbon films.JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,87(6),2874-2879. |
| MLA | Yu, YH,et al."Optical and electrical properties of nitrogen incorporated amorphous carbon films".JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 87.6(2000):2874-2879. |
入库方式： OAI收割
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