2.4μm GaInAsSb红外探测器台面腐蚀研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 梁帮立 ; 夏冠群 ; 富小妹 ; 程宗权 |
| 刊名 | 微电子技术
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| 出版日期 | 2000 |
| 期号 | 04 |
| ISSN号 | 1008-0147 |
| 中文摘要 | 本文提出了适于２．μｍ ＧａＩｎｓＳｂ台面结构探测器制备的ＨＦ／Ｈ２Ｏ２／ Ｃ４Ｈ６Ｏ６／Ｈ２Ｏ腐蚀液体系，并确定了合适的成分配比。实验结果表明，该腐蚀液 体系对ＧａＩｎＡｓＳｂ材料腐蚀速度适中、侧向腐蚀小、不破坏光刻胶保护、腐蚀面 平整、腐蚀槽齐整、受外延付表面质量影响较小。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/103680]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁帮立,夏冠群,富小妹,等. 2.4μm GaInAsSb红外探测器台面腐蚀研究[J]. 微电子技术,2000(04). |
| APA | 梁帮立,夏冠群,富小妹,&程宗权.(2000).2.4μm GaInAsSb红外探测器台面腐蚀研究.微电子技术(04). |
| MLA | 梁帮立,et al."2.4μm GaInAsSb红外探测器台面腐蚀研究".微电子技术 .04(2000). |
入库方式： OAI收割
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