25keV AS~＋大倾斜角注入的损伤分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 何治平 ; 周祖尧 ; 关安民 ; 朱文玉 ; 江炳尧 ; 施左宇 ; 林成鲁 ; 钱佑华 ; 陈良尧 ; 苏毅 |
| 刊名 | 核技术
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| 出版日期 | 1994 |
| 期号 | 07 |
| ISSN号 | CN 311342TL |
| 中文摘要 | 通过２５ｋｅＶ的Ａｓ＋注入硅中．用背散射沟道分析技术和椭圆偏振光测量技术分析了在倾斜角分别为７°、１５°、３０°、４５°和６０°时的损伤分布，揭示了大倾斜角注入在注入能量较低时的一些物理现象． |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/103687]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何治平,周祖尧,关安民,等. 25keV AS~＋大倾斜角注入的损伤分析[J]. 核技术,1994(07). |
| APA | 何治平.,周祖尧.,关安民.,朱文玉.,江炳尧.,...&苏毅.(1994).25keV AS~＋大倾斜角注入的损伤分析.核技术(07). |
| MLA | 何治平,et al."25keV AS~＋大倾斜角注入的损伤分析".核技术 .07(1994). |
入库方式： OAI收割
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