9微来红外吸收法测定硅单晶中氧含量的标定曲线
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李月珍 ; 何焕南 ; 赵关弟 ; 严荣华 ; 吕庆仁 ; 祁明维 ; 章家鼎 ; 华芝芬 |
| 刊名 | 半导体学报
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| 出版日期 | 1983 |
| 期号 | 01 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 中文摘要 | 本文用氦载气熔化-气相色谱建立了红外吸收法测定硅单晶中间隙氧的标定曲线.由于熔化法中实验条件的控制和试样准备的改进,降低了空白,提高了数据的重现性,做出较可靠的标定曲线(其换算常数为6.2ppmA/cm~(-1)).优于文献中其它的标定曲线. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/103713]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李月珍,何焕南,赵关弟,等. 9微来红外吸收法测定硅单晶中氧含量的标定曲线[J]. 半导体学报,1983(01). |
| APA | 李月珍.,何焕南.,赵关弟.,严荣华.,吕庆仁.,...&华芝芬.(1983).9微来红外吸收法测定硅单晶中氧含量的标定曲线.半导体学报(01). |
| MLA | 李月珍,et al."9微来红外吸收法测定硅单晶中氧含量的标定曲线".半导体学报 .01(1983). |
入库方式： OAI收割
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