Al_x Ga_(1-x) As二次离子质谱定量分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 高培德 ; 徐弛 ; 毕联训 ; 陆月珍 ; 金丽娜 ; 王乃粒 |
| 刊名 | 分析测试通报
 |
| 出版日期 | 1986 |
| 期号 | 04 |
| ISSN号 | 1004-4957 |
| 中文摘要 | 本文提出了一种用二次离子质谱(SIMS)测定Al_x Ga_(1-x)As薄膜样品成分的定量分析方法,通过对一组标样用线性回归法定标和迭代法定量计算,对不同能量下得到的数据进行统计分析表明,用SIMS方法测定的组份X值与用电子探针测定的结果之间的均方根误差只有8.7。本文还对影响SIMS定量分析精度的某些实验因素作了探讨。并给出了估算Al组分的I(Al~+)/sum from j=1 to nI(M_j~+)～C_(Al)图。原则上本法也同样适用于其它多组分均匀样品的SIMS定量分析。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/103736]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高培德,徐弛,毕联训,等. Al_x Ga_(1-x) As二次离子质谱定量分析[J]. 分析测试通报,1986(04). |
| APA | 高培德,徐弛,毕联训,陆月珍,金丽娜,&王乃粒.(1986).Al_x Ga_(1-x) As二次离子质谱定量分析.分析测试通报(04). |
| MLA | 高培德,et al."Al_x Ga_(1-x) As二次离子质谱定量分析".分析测试通报 .04(1986). |
入库方式： OAI收割
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