Ar离子轰击Ag靶的溅射角分布
文献类型：期刊论文
| 作者 | 潘浩昌 ; 陶振兰 ; 郑里平 ; 曹德新 ; 张衡山 ; 张阿虎 ; 周祖尧 ; 周伟 |
| 刊名 | 核技术
 |
| 出版日期 | 1988 |
| 期号 | 05 |
| ISSN号 | 0253-3219 |
| 中文摘要 | 本文描述了用溅射粒子捕集器和Rutherford背散射分析测定溅射粒子角分布的实验方法。给出了100keV Ar~+在入射角分别为0°、30°、50°和80°时轰击Ag靶的溅射角分布。角分布偏离余弦形状,有前倾趋势。溅射产额随入射角增大而迅速增加。由50keV Ar~+垂直入射Ag的溅射角分布计算出的总溅射产额为16.8±2.4~(atoms)/Ar~+。实验结果与理论值进行了比较,并作了定性分析。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/103757]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 潘浩昌,陶振兰,郑里平,等. Ar离子轰击Ag靶的溅射角分布[J]. 核技术,1988(05). |
| APA | 潘浩昌.,陶振兰.,郑里平.,曹德新.,张衡山.,...&周伟.(1988).Ar离子轰击Ag靶的溅射角分布.核技术(05). |
| MLA | 潘浩昌,et al."Ar离子轰击Ag靶的溅射角分布".核技术 .05(1988). |
入库方式： OAI收割
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