AuGe和AuGeNi/n-GaAs欧姆接触的透射电镜观察
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王葛亚 ; 吴鼎芬 |
| 刊名 | 电子显微学报
 |
| 出版日期 | 1986 |
| 期号 | 04 |
| ISSN号 | 1000-6281 |
| 中文摘要 | 用断面透射电镜技术,直接观察了实际欧姆接触工艺中AuGe/GaAs和AuGeNi/GaAs的横断面组织,并用选区电子衍射方法测定其反应产物。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/103769]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王葛亚,吴鼎芬. AuGe和AuGeNi/n-GaAs欧姆接触的透射电镜观察[J]. 电子显微学报,1986(04). |
| APA | 王葛亚,&吴鼎芬.(1986).AuGe和AuGeNi/n-GaAs欧姆接触的透射电镜观察.电子显微学报(04). |
| MLA | 王葛亚,et al."AuGe和AuGeNi/n-GaAs欧姆接触的透射电镜观察".电子显微学报 .04(1986). |
入库方式： OAI收割
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