CH-1型硅集成热电堆红外传感器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 卢建国 ; 隋兆文 ; 熊斌 ; 王文珍 ; 陈芬和 ; 王渭源 |
| 刊名 | 传感器技术
 |
| 出版日期 | 1988 |
| 期号 | 04 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| 中文摘要 | 本文报导了应用塞贝克效应的CH—1型硅集成热电堆红外传感器的研究结果。该器件采用集成电路工艺技术及硅的微细加工技术研制而成。测得器件性能为:波段为8～14μm,电阻值为4±1kΩ,响应率为10～15V/W,时间常数<100ms,探测值D~*～1×10~8cm (Hz)~(1/2)/W。并对器件的膜厚与响应率关系、电阻值、响应与温度的关系进行了初步讨论。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/103810]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 卢建国,隋兆文,熊斌,等. CH-1型硅集成热电堆红外传感器[J]. 传感器技术,1988(04). |
| APA | 卢建国,隋兆文,熊斌,王文珍,陈芬和,&王渭源.(1988).CH-1型硅集成热电堆红外传感器.传感器技术(04). |
| MLA | 卢建国,et al."CH-1型硅集成热电堆红外传感器".传感器技术 .04(1988). |
入库方式： OAI收割
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