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GaAs-Ga_(1-x)-Al_xAs双异质结发光管欧姆接触的研究

文献类型:期刊论文

作者张桂成 ; 程宗权 ; 胡道珊
刊名上海金属.有色分册
出版日期1983
期号02
ISSN号1005-2046
中文摘要本文叙述了n-GaAs/AuGeNi和P-GaAs/Au-Zn的比接触电阻随合金温度的变化规律,研究了热处理气氛(H_2或N_2气氛中)对合金表面形貌的影响。结果表明:n-GaAs/AuGeNi和n-GaAs/AuGeNi/Au具有相同的比接触电阻。当热处理在N_2气流中进行时,合金的表面形貌呈细粒状。在P-GaAs/Au-Zn中,比接触电阻随合金化温度的增加而缓慢地降低。当合金温度为550℃时,合金的表面形貌呈现明显的缩球。这一方法已应用到GaAs-GaAlAs双异质结发光两极管的制备工艺中,并制得了串
语种中文
公开日期2012-03-29
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/103911]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所)
推荐引用方式
GB/T 7714
张桂成,程宗权,胡道珊. GaAs-Ga_(1-x)-Al_xAs双异质结发光管欧姆接触的研究[J]. 上海金属.有色分册,1983(02).
APA 张桂成,程宗权,&胡道珊.(1983).GaAs-Ga_(1-x)-Al_xAs双异质结发光管欧姆接触的研究.上海金属.有色分册(02).
MLA 张桂成,et al."GaAs-Ga_(1-x)-Al_xAs双异质结发光管欧姆接触的研究".上海金属.有色分册 .02(1983).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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