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In_xGa_(1-x)As/GaAs应变超晶格的X射线双晶衍射研究

文献类型:期刊论文

作者陈京一 ; 朱南昌 ; 田亮光 ; 李润身
刊名半导体学报
出版日期1990
期号11
ISSN号0253-4177
中文摘要本文阐述了一种基于X射线动力学衍射理论的计算机模拟方法,该方法可用于分析超晶格材料的X射线双晶摆动曲线,用模拟计算方法得到了In_xGa_(1-x)As/GaAs应变超晶格的各种结构参数。
公开日期2012-03-29
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/103986]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所)
推荐引用方式
GB/T 7714
陈京一,朱南昌,田亮光,等. In_xGa_(1-x)As/GaAs应变超晶格的X射线双晶衍射研究[J]. 半导体学报,1990(11).
APA 陈京一,朱南昌,田亮光,&李润身.(1990).In_xGa_(1-x)As/GaAs应变超晶格的X射线双晶衍射研究.半导体学报(11).
MLA 陈京一,et al."In_xGa_(1-x)As/GaAs应变超晶格的X射线双晶衍射研究".半导体学报 .11(1990).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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