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InSb_(1-x)Bi_x的液相外延

文献类型:期刊论文

作者孙清 ; 吴汶海 ; 邹元爔 ; 施惠英
刊名应用科学学报
出版日期1984
期号03
ISSN号0255-8297
中文摘要本文采用液相外延方法在InSb衬底上生长InSb_(1-x)Bi_x外延层,初步得出了外延生长条件包括温度,生长速率,熔池组分及衬底取向等与外延层x值的关系.此外,为了使x值达到所希望的适当范围,进行了InSb_(1-x)Bi_x电外延的初步试验.
语种中文
公开日期2012-03-29
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104018]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所)
推荐引用方式
GB/T 7714
孙清,吴汶海,邹元爔,等. InSb_(1-x)Bi_x的液相外延[J]. 应用科学学报,1984(03).
APA 孙清,吴汶海,邹元爔,&施惠英.(1984).InSb_(1-x)Bi_x的液相外延.应用科学学报(03).
MLA 孙清,et al."InSb_(1-x)Bi_x的液相外延".应用科学学报 .03(1984).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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