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LEC法GaAs中的Si与液封剂B_2O_3,H_2O间的相互作用

文献类型:期刊论文

作者章敏权 ; 邹元爔 ; 方敦辅
刊名金属学报
出版日期1985
期号01
ISSN号0412-1961
中文摘要本文利用文献报道的LEC法GaAs晶体中的Si,B的红外LVM吸收光谱和SIMS分析数据,作出三条lg[Si]-lg[B]直线,其斜率分别接近于4/3,2/3,1/2.本文结合晶体生长的不同工艺条件试用熔体中Si与B_2O_3,H_2O间的相互作用,解释斜率的差异.
语种中文
公开日期2012-03-29
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104041]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所)
推荐引用方式
GB/T 7714
章敏权,邹元爔,方敦辅. LEC法GaAs中的Si与液封剂B_2O_3,H_2O间的相互作用[J]. 金属学报,1985(01).
APA 章敏权,邹元爔,&方敦辅.(1985).LEC法GaAs中的Si与液封剂B_2O_3,H_2O间的相互作用.金属学报(01).
MLA 章敏权,et al."LEC法GaAs中的Si与液封剂B_2O_3,H_2O间的相互作用".金属学报 .01(1985).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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