MOCVD自动控制电路的设计及其应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 孙一军 ; 夏冠群 ; 张良莹 ; 姚熹 |
| 刊名 | 电子学报
 |
| 出版日期 | 1999 |
| 期号 | 07 |
| 关键词 | K1 金属有机化学汽相沉积 控制电路 纳米级超细粉 二氧化钛 |
| ISSN号 | 0372-2112 |
| 其他题名 | T1 MOCVD自动控制电路的设计及其应用 |
| 中文摘要 | 本文设计了ＭＯＣＶＤ自动控制电路，该电路既能手动控制又能采用计算机进行自动控制．将该电路应用于ＭＯＣＶＤ系统，成功制备出ＴｉＯ２纳米级超细粉，在５００℃～１０００℃范围内，超细粉的平均晶粒尺寸为７４～１５２ｎｍ． |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104114]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙一军,夏冠群,张良莹,等. MOCVD自动控制电路的设计及其应用[J]. 电子学报,1999(07). |
| APA | 孙一军,夏冠群,张良莹,&姚熹.(1999).MOCVD自动控制电路的设计及其应用.电子学报(07). |
| MLA | 孙一军,et al."MOCVD自动控制电路的设计及其应用".电子学报 .07(1999). |
入库方式： OAI收割
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