MOVPE法生长AlGaAs过程中Al分配系数的动力学研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 公延宁 ; 莫金玑 ; 余海生 ; 夏冠群 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 2000 |
| 期号 | 02 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 中文摘要 | 从固态组分控制方面，对ＡｌＧａＡｓ 的常压金属有机物气相外延（ＡＰ－ＭＯＶＰＥ）生长技术进行了研究．首先，在假定体系中所涉及气体为理想气体的前提下，经理论推导，给出了ＡｌＧａＡｓＡＰ－ＭＯＶＰＥ生长过程中控制参数和Ａｌ在固、气相间的分配系数ｋＡｌ之间的关系式．之后，依据该关系式分析实验数据，并对ｋＡｌ的动力学行为规律进行了研究．结果表明，ｋＡｌ值大小与ＡｌＡｓ 和ＧａＡｓ 的生长效率（单位ⅢＡ 族原子输入量下材料的生长速率）之比Ｋ 的大小有关：ｋＡｌ随Ｋ 的增加而增大；当Ｋ＞ １ 时，ｋＡｌ＞ １，当Ｋ＜ |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104121]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 公延宁,莫金玑,余海生,等. MOVPE法生长AlGaAs过程中Al分配系数的动力学研究[J]. 半导体学报,2000(02). |
| APA | 公延宁,莫金玑,余海生,&夏冠群.(2000).MOVPE法生长AlGaAs过程中Al分配系数的动力学研究.半导体学报(02). |
| MLA | 公延宁,et al."MOVPE法生长AlGaAs过程中Al分配系数的动力学研究".半导体学报 .02(2000). |
入库方式： OAI收割
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