Pb（Zr_（0．52）Ti_（0．48））O_3铁电薄膜的脉冲准分子激光沉积
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郑立荣 ; 陈逸清 ; 许华平 ; 辛火平 ; 宋世庚 ; 林成鲁 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
 |
| 出版日期 | 1995 |
| 期号 | 02 |
| ISSN号 | 10074252 |
| 中文摘要 | 用ＡｒＦ脉冲准分子激光在ＳＯＩ和Ｐｔ／ＳＯＩ衬底上沉积了Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ＿３铁电薄膜，并用快速退火进行热处理。ｘ射线衍射、卢瑟辐背散射等分析表明：所结晶的薄膜是以（１００）和（１１０）为主要取向的多晶膜，且结晶情况与热处理温度和时间密切相关；ＰＺＴ薄膜呈现铁电性，其剩余极化Ｐｒ＝１５μｃ／ｃｍ￣２，矫顽电场Ｅｃ＝５０ｋＶ／ｃｍ；并且具有较高的介电常数和较高的电阻率。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104179]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑立荣,陈逸清,许华平,等. Pb（Zr_（0．52）Ti_（0．48））O_3铁电薄膜的脉冲准分子激光沉积[J]. 功能材料与器件学报,1995(02). |
| APA | 郑立荣,陈逸清,许华平,辛火平,宋世庚,&林成鲁.(1995).Pb（Zr_（0．52）Ti_（0．48））O_3铁电薄膜的脉冲准分子激光沉积.功能材料与器件学报(02). |
| MLA | 郑立荣,et al."Pb（Zr_（0．52）Ti_（0．48））O_3铁电薄膜的脉冲准分子激光沉积".功能材料与器件学报 .02(1995). |
入库方式： OAI收割
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