Pt-GaAs肖特基势垒雪崩光电探测器的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郭康瑾 ; 胡维央 ; 姚文兰 ; 陈莲勇 |
| 刊名 | 电子科学学刊
 |
| 出版日期 | 1992 |
| 期号 | 05 |
| ISSN号 | 1009-5896 |
| 中文摘要 | Pt-GaAs肖特基势垒雪崩光电探测器已研制成功。器件制作在施主浓度为0.5～3×10~(15)cm~(-3)、厚度约为20μm的GaAs外延层上。为防止边缘击穿,用能量为500keV、剂量为1×10~(15)cm~(-2)的质子轰击,在直径为150μm的光敏区外形成高阻保护区。半透明的Pt肖特基势垒膜用特殊的蒸发法形成。器件的峰值响应波长随偏压的改变可以从8600(?)移动到8835(?),截止波长可延伸到9700(?),观察到明显的Franz-Keldysh效应。器件倍增可达100以上;暗电流仅几纳安 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104203]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭康瑾,胡维央,姚文兰,等. Pt-GaAs肖特基势垒雪崩光电探测器的研究[J]. 电子科学学刊,1992(05). |
| APA | 郭康瑾,胡维央,姚文兰,&陈莲勇.(1992).Pt-GaAs肖特基势垒雪崩光电探测器的研究.电子科学学刊(05). |
| MLA | 郭康瑾,et al."Pt-GaAs肖特基势垒雪崩光电探测器的研究".电子科学学刊 .05(1992). |
入库方式： OAI收割
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