X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 唐圣明 ; 徐梅娣 ; 陈思琴 ; 林绥娟 |
| 刊名 | 电子显微学报
 |
| 出版日期 | 1994 |
| 期号 | 06 |
| ISSN号 | 10006281 |
| 中文摘要 | Ｘ射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用唐圣明，徐梅娣，陈思琴，林绥娟（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）铝钛酸铅［Ｐｂ（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｏ＿３，简称ＰＺＴ］是一种新型的铁电薄膜材料，具有独特的电学，光学性能，有很广泛的应用价值。ＰＺＴ薄膜与器件的制... |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104337]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 唐圣明,徐梅娣,陈思琴,等. X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用[J]. 电子显微学报,1994(06). |
| APA | 唐圣明,徐梅娣,陈思琴,&林绥娟.(1994).X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用.电子显微学报(06). |
| MLA | 唐圣明,et al."X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用".电子显微学报 .06(1994). |
入库方式： OAI收割
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