Y掺杂钛酸钡薄膜的Sol-Gel法制备及PTC效应
文献类型：期刊论文
| 作者 | 龚健 ; 符小荣 ; 宋世庚 ; 谭辉 ; 陶明德 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 1999 |
| 期号 | 03 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 中文摘要 | 本文采用 Sol- Gel法在 Pt/Ti/Si( 1 0 0 )衬底上制备了 Y掺杂半导化 Ba Ti O3的 PTC薄膜 ,前驱物为醋酸钡、钛酸四丁酯 ,溶剂体系选用乙二醇 -乙二醇甲醚 -甲醇 -水 ,添加乙酰丙酮作为螯合剂及聚乙二醇作为表面活性剂 .其 R- T特性转变温度约为 1 38℃ ,升阻比达 4个数量级 ,转变温区约 2℃ . |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104371]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 龚健,符小荣,宋世庚,等. Y掺杂钛酸钡薄膜的Sol-Gel法制备及PTC效应[J]. 半导体学报,1999(03). |
| APA | 龚健,符小荣,宋世庚,谭辉,&陶明德.(1999).Y掺杂钛酸钡薄膜的Sol-Gel法制备及PTC效应.半导体学报(03). |
| MLA | 龚健,et al."Y掺杂钛酸钡薄膜的Sol-Gel法制备及PTC效应".半导体学报 .03(1999). |
入库方式： OAI收割
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