β－FeSi_2／SIMOX──一种新结构的光电子材料
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王连卫 ; 沈勤我 ; 林贤 ; 林成鲁 ; 邹世昌 ; 庄志诚 |
| 刊名 | 半导体学报
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| 出版日期 | 1996 |
| 期号 | 04 |
| ISSN号 | 02534177 |
| 中文摘要 | 本文采用固相外延法在ＳＩＭＯＸ衬底上生长了β－ＦｅＳｉ２薄膜，采用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ），卢瑟辐背散射（ＲＢＳ）以及自动扩展电阻测量研究了样品的多层结构，Ｒａｍａｎ谱表征说明它与直接在硅片上生长的薄膜具有类似的晶格振动特性． |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104388]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王连卫,沈勤我,林贤,等. β－FeSi_2／SIMOX──一种新结构的光电子材料[J]. 半导体学报,1996(04). |
| APA | 王连卫,沈勤我,林贤,林成鲁,邹世昌,&庄志诚.(1996).β－FeSi_2／SIMOX──一种新结构的光电子材料.半导体学报(04). |
| MLA | 王连卫,et al."β－FeSi_2／SIMOX──一种新结构的光电子材料".半导体学报 .04(1996). |
入库方式： OAI收割
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