半导体工艺线上的C－t检测及其应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 何德湛 ; 闵靖 ; 曾庆光 |
| 刊名 | 半导体技术
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| 出版日期 | 1994 |
| 期号 | 03 |
| ISSN号 | 1003353X |
| 中文摘要 | 本文主要介绍在半导体工艺线上对有关工艺进行Ｃ－ｔ检测及应用，结果表明这对提高工艺质量及产品成品率是重要的。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104414]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何德湛,闵靖,曾庆光. 半导体工艺线上的C－t检测及其应用[J]. 半导体技术,1994(03). |
| APA | 何德湛,闵靖,&曾庆光.(1994).半导体工艺线上的C－t检测及其应用.半导体技术(03). |
| MLA | 何德湛,et al."半导体工艺线上的C－t检测及其应用".半导体技术 .03(1994). |
入库方式： OAI收割
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