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半绝缘GaAs单晶中的微沉淀

文献类型:期刊论文

作者莫培根 ; 朱健 ; 吴巨
刊名稀有金属
出版日期1989
期号01
ISSN号0258-7076
中文摘要利用 JEM-200CX 透射电子显微镜观察了原生未掺杂及掺铟的半绝缘 GaAs 单晶中的微沉淀相,发现含位错的晶体中均有 GaAs 的微多晶粒沉淀相,大小在5~100nm 不等。根据 EDXA 分析,这些微多晶粒是富砷的 GaAs,富砷的程度掺铟的比未掺的严重。沉淀相可能是由于晶体生长时,生长界面局部组份过冷所引起。
语种中文
公开日期2012-03-29
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104431]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所)
推荐引用方式
GB/T 7714
莫培根,朱健,吴巨. 半绝缘GaAs单晶中的微沉淀[J]. 稀有金属,1989(01).
APA 莫培根,朱健,&吴巨.(1989).半绝缘GaAs单晶中的微沉淀.稀有金属(01).
MLA 莫培根,et al."半绝缘GaAs单晶中的微沉淀".稀有金属 .01(1989).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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