背散射法测定低能氩离子对金的溅射率
文献类型：期刊论文
| 作者 | 明嘉增 ; 陈国明 ; 周祖尧 ; 任琮欣 ; 杨絜 ; 傅新定 ; 朱德彰 ; 曹德新 |
| 刊名 | 核技术
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| 出版日期 | 1987 |
| 期号 | 09 |
| ISSN号 | 0253-3219 |
| 中文摘要 | 本文用背散射方法测定了300—1200eV不同能量的氩离子对金的溅射率。实验测得的背散射能谱用两种不同的方法(能量损失和面积法)处理,结果表明,用背散射法测得金的溅射率与G.K.Wehner用称重法测定的数据很接近,其与入射离子能量的关系为Y∝E~(0.4)。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104444]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 明嘉增,陈国明,周祖尧,等. 背散射法测定低能氩离子对金的溅射率[J]. 核技术,1987(09). |
| APA | 明嘉增.,陈国明.,周祖尧.,任琮欣.,杨絜.,...&曹德新.(1987).背散射法测定低能氩离子对金的溅射率.核技术(09). |
| MLA | 明嘉增,et al."背散射法测定低能氩离子对金的溅射率".核技术 .09(1987). |
入库方式： OAI收割
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