铂薄膜中氧和碳的行为
文献类型：期刊论文
| 作者 | 武蕴忠 ; 丁青 ; 徐梅芳 ; 王渭源 |
| 刊名 | 金属学报
 |
| 出版日期 | 1994 |
| 期号 | 14 |
| ISSN号 | 0412-1961 |
| 中文摘要 | 用Ａｕｇｅｒ电子能谱研究铂薄膜中氧和碳杂质的行为．结果表明，氧和碳受它们在铂膜中扩散过程限制．在１０００℃上、下两个温区，氧具有不同的扩散激活能，分别等于０．９８和０．４４ｅＶ；５５０─１０００℃温度范围内，氧向膜外扩散，使铂膜净化；１０００─１２００℃温度范围内，氧向膜内扩散，使铂膜氧化．在所研究的整个温度范围内，碳的扩散激活能等于０．５２ｅｖ，其扩散行为和氧相同，且随着氧含量的增减而增减． |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104463]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 武蕴忠,丁青,徐梅芳,等. 铂薄膜中氧和碳的行为[J]. 金属学报,1994(14). |
| APA | 武蕴忠,丁青,徐梅芳,&王渭源.(1994).铂薄膜中氧和碳的行为.金属学报(14). |
| MLA | 武蕴忠,et al."铂薄膜中氧和碳的行为".金属学报 .14(1994). |
入库方式： OAI收割
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