薄膜铜电阻温度传感器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 武蕴忠 ; 孙承龙 ; 徐梅芳 |
| 刊名 | 传感器技术
 |
| 出版日期 | 1987 |
| 期号 | Z1 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| 中文摘要 | <正> 本文研制的薄膜铜电阻温度传感器具有如下性能:测温范围:-50～+150℃,最大非线性度<0.5％,电阻温度系数4150±20ppm℃~(-1),响应时间<0.5s。 制备薄膜铜电阻温度传感器的工艺流程如下:抛光硅片(p型或n型)清洗→热氧化→ |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104475]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 武蕴忠,孙承龙,徐梅芳. 薄膜铜电阻温度传感器[J]. 传感器技术,1987(Z1). |
| APA | 武蕴忠,孙承龙,&徐梅芳.(1987).薄膜铜电阻温度传感器.传感器技术(Z1). |
| MLA | 武蕴忠,et al."薄膜铜电阻温度传感器".传感器技术 .Z1(1987). |
入库方式： OAI收割
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