不同含氮量的a-SiN_x∶H的红外吸收及释氢谱
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王树林 ; 程如光 ; 何克伦 ; 祁明维 ; 蔡培新 |
| 刊名 | 无机材料学报
 |
| 出版日期 | 1988 |
| 期号 | 01 |
| ISSN号 | 1000-324X |
| 中文摘要 | 用红外及氢释放谱研究了由高频辉光放电分解不同配比的 SiH_4+NH_3+H_2混合气体而制备的a-SiN_x∶H 薄膜。结果发现:随着 N/Si 增加,膜的结构由类 a-Si∶H 形式逐渐过渡到类 a-SiN_(1.33)∶H 形式。当 N/Si<0.56,膜的结构以 a-Si∶H 相为主,当 N/Si>0.73时,a-SiN_(1.33)∶H 相起支配作用。在0.56 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104483]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王树林,程如光,何克伦,等. 不同含氮量的a-SiN_x∶H的红外吸收及释氢谱[J]. 无机材料学报,1988(01). |
| APA | 王树林,程如光,何克伦,祁明维,&蔡培新.(1988).不同含氮量的a-SiN_x∶H的红外吸收及释氢谱.无机材料学报(01). |
| MLA | 王树林,et al."不同含氮量的a-SiN_x∶H的红外吸收及释氢谱".无机材料学报 .01(1988). |
入库方式： OAI收割
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