喷雾热分解法制备MgO薄膜的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 符晓荣 ; 武光明 ; 宋世庚 ; 宋志棠 ; 高剑侠 ; 林成鲁 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
 |
| 出版日期 | 1999 |
| 期号 | 03 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 用简单的压缩空气式喷雾热分解法以醋酸镁为原料在Ｓｉ（１００） 衬底上成功地制备了（１００） 取向的ＭｇＯ 薄膜。结果表明，为获得（１００） 取向的ＭｇＯ 薄膜，衬底温度和喷雾速率是关键因素。控制实验条件，在６０００Ｃ得到了（１００） 取向的ＭｇＯ 薄膜。同时，用Ｘ 射线衍射（ＸＲＤ） 、原子力显微镜（ＡＦＭ） 和透射电镜（ＴＥＭ）对薄膜的微观结构进行了分析。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104640]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 符晓荣,武光明,宋世庚,等. 喷雾热分解法制备MgO薄膜的研究[J]. 功能材料与器件学报,1999(03). |
| APA | 符晓荣,武光明,宋世庚,宋志棠,高剑侠,&林成鲁.(1999).喷雾热分解法制备MgO薄膜的研究.功能材料与器件学报(03). |
| MLA | 符晓荣,et al."喷雾热分解法制备MgO薄膜的研究".功能材料与器件学报 .03(1999). |
入库方式： OAI收割
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