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气流分布对MOCVD HgCdTe组份均匀性的影响

文献类型:期刊论文

作者徐飞 ; 彭瑞伍 ; 丁永庆 ; 张玉平 ; 陈记安 ; 李贤春
刊名激光与红外
出版日期1992
期号03
关键词K1 气流分布形态 组份均匀性
ISSN号1001-5078
其他题名T1 气流分布对MOCVD HgCdTe组份均匀性的影响
中文摘要本文报导用特殊方法观察到气流在MOCVD反应室里的分布形态,并以此为根据,通入不同流量的有机物生长HgCdTe。测试结果表明:气体流量对HgCdTe材料组份均匀性影响很大。在一个适当的流量下,能生长出良好的HgCdTe。
语种中文
公开日期2012-03-29
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104662]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所)
推荐引用方式
GB/T 7714
徐飞,彭瑞伍,丁永庆,等. 气流分布对MOCVD HgCdTe组份均匀性的影响[J]. 激光与红外,1992(03).
APA 徐飞,彭瑞伍,丁永庆,张玉平,陈记安,&李贤春.(1992).气流分布对MOCVD HgCdTe组份均匀性的影响.激光与红外(03).
MLA 徐飞,et al."气流分布对MOCVD HgCdTe组份均匀性的影响".激光与红外 .03(1992).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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