气体中微量氧测定
文献类型：期刊论文
| 作者 | 冯强生 ; 葛芝芹 ; 潘淑端 ; 于诗广 ; 曹爱仙 |
| 刊名 | 分析化学
 |
| 出版日期 | 1984 |
| 期号 | 01 |
| ISSN号 | 0253-3820 |
| 中文摘要 | <正> Hersch电极的商品仪器,最低检出量约0.1ppm左右。但半导体材料研究要求能检出气体中含氧量低至0.02ppm。并要求测定含有掺杂气体中的氧。为此本工作对Hersch电极进行了研究,提出能检测0.005ppm氧的仪器系统。仪器设计仪器结构如图1.为避免反应器中氧在低氧环境中扩散出来,采用玻璃结构。待测气体如含有能和电极起反应的杂质(如As、Zn、Al、P……),应避免待测气体大量通过电极,使电极中毒,采用取样10毫升,然后用纯氩气作载体,读取峰值电流。本仪器测定量为ppm以 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104666]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯强生,葛芝芹,潘淑端,等. 气体中微量氧测定[J]. 分析化学,1984(01). |
| APA | 冯强生,葛芝芹,潘淑端,于诗广,&曹爱仙.(1984).气体中微量氧测定.分析化学(01). |
| MLA | 冯强生,et al."气体中微量氧测定".分析化学 .01(1984). |
入库方式： OAI收割
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