热丝CVD生长金刚石薄膜喇曼散射研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张晓峰 ; 许宁 ; 张广富 ; 郑志豪 ; 庄志诚 |
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 1993 |
| 期号 | 11 |
| 关键词 | K1 金刚石薄膜 散射 非线性拟合 |
| ISSN号 | 0253-2239 |
| 其他题名 | T1 热丝CVD生长金刚石薄膜喇曼散射研究 |
| 中文摘要 | 本文报道热丝化学气相沉积法(HFCVD)生长金刚石薄膜的喇曼散射结果.选取多种峰型,对金刚石薄膜喇曼谱(1100～1800cm~(-1))采用最小二乘法进行非线性拟合,得到最佳拟合模型,其计算得到的拟合曲线与实验谱图符合得较好.该模型揭示,石墨D峰(1355cm~(-1))是金刚石薄膜喇曼谱中不可缺少的一个组份,并且结合石墨D峰和金刚石喇曼峰的空间相关线型,可以解释金刚石喇曼区特殊峰形的物理机制.拟合参量的进一步分析,可得出金刚石的晶体质量和金刚石薄膜中金刚石的含量.多个金刚石薄膜喇曼谱拟合结果表明,该拟 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104719]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张晓峰,许宁,张广富,等. 热丝CVD生长金刚石薄膜喇曼散射研究[J]. 光学学报,1993(11). |
| APA | 张晓峰,许宁,张广富,郑志豪,&庄志诚.(1993).热丝CVD生长金刚石薄膜喇曼散射研究.光学学报(11). |
| MLA | 张晓峰,et al."热丝CVD生长金刚石薄膜喇曼散射研究".光学学报 .11(1993). |
入库方式： OAI收割
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