溶胶-凝胶VO_2薄膜转换特性研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 袁宁一 ; 李金华 ; 林成鲁 |
| 刊名 | 物理学报
 |
| 出版日期 | 2002 |
| 期号 | 04 |
| ISSN号 | 1000-3290 |
| 中文摘要 | 利用溶胶 凝胶法在SiO2 Si衬底上沉积高取向的V2 O5薄膜 ,在压强低于 2Pa ,温度高于 40 0℃的条件下 ,对V2 O5薄膜进行真空烘烤 ,获得了电阻率变化 3个数量级以上、弛豫宽度为 6 2℃的VO2 多晶薄膜 .以X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜 (SEM)图和电阻率转换特性等实验结果为依据 ,详细分析了溶胶 凝胶薄膜在真空烘烤时从V2 O5向VO2 的转化 ,它经历了从VnO2n +1 (n =2 ,3,4,6 )到VO2 的过程 .实验证明 ,根据选择合适的成膜热处理条件 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104754]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁宁一,李金华,林成鲁. 溶胶-凝胶VO_2薄膜转换特性研究[J]. 物理学报,2002(04). |
| APA | 袁宁一,李金华,&林成鲁.(2002).溶胶-凝胶VO_2薄膜转换特性研究.物理学报(04). |
| MLA | 袁宁一,et al."溶胶-凝胶VO_2薄膜转换特性研究".物理学报 .04(2002). |
入库方式： OAI收割
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