溶胶-凝胶法制备MgO薄膜的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 武光明 ; 符晓荣 ; 林成鲁 |
| 刊名 | 功能材料
 |
| 出版日期 | 1999 |
| 期号 | 06 |
| 关键词 | K1 MgO 薄膜 溶胶-凝胶法 |
| ISSN号 | 1001-9731 |
| 中文摘要 | 本文采用非金属醇盐以醋酸镁为起始原料，胶棉液为添加剂，在Ｓｉ（１００） 衬底上成功地制备了ＭｇＯ 薄膜。结果表明，薄膜的晶体结构与胶棉液的含量及退火温度有关。同时，用Ｘ射线衍射（ ＸＲＤ） 、原子力显微电镜（ＡＦＭ） 和透射电镜（ ＴＥＭ） 对薄膜的微观结构进行了分析。这种制备ＭｇＯ 薄膜的新方法还未见有报道。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104756]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 武光明,符晓荣,林成鲁. 溶胶-凝胶法制备MgO薄膜的研究[J]. 功能材料,1999(06). |
| APA | 武光明,符晓荣,&林成鲁.(1999).溶胶-凝胶法制备MgO薄膜的研究.功能材料(06). |
| MLA | 武光明,et al."溶胶-凝胶法制备MgO薄膜的研究".功能材料 .06(1999). |
入库方式： OAI收割
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