扫描电镜剖面EBIC方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 唐圣明 ; 林绥娟 |
| 刊名 | 电子显微学报
 |
| 出版日期 | 1988 |
| 期号 | 03 |
| ISSN号 | 1000-6281 |
| 中文摘要 | <正> 一、引言扫描电镜EBIC(电子束感生)方法在半导体材料与器件的研究中,有其独特的优点,已被广泛应用。通常应用EBIC方法为平面法,即PN结界面平行于观察平面。本文介绍了剖面EBIC方法。在此方法中,PN结界面垂直于观察平面,成为直接暴露于大气中的自由面。这种疗法能比平面法更直观地表现结的性质,其示意图如图1所示。二、试样制备1.直接介理法:对于简单图形结构的半导体器件,可以采用直接介理芯片的方法。把介理后的芯片垂直放置,背面用银浆粘于半导体样品台的铜架上,与之做欧姆接触,作为一个电极引出。再用钨丝 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104803]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 唐圣明,林绥娟. 扫描电镜剖面EBIC方法[J]. 电子显微学报,1988(03). |
| APA | 唐圣明,&林绥娟.(1988).扫描电镜剖面EBIC方法.电子显微学报(03). |
| MLA | 唐圣明,et al."扫描电镜剖面EBIC方法".电子显微学报 .03(1988). |
入库方式： OAI收割
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