射频溅射中的电磁波防护
文献类型：期刊论文
| 作者 | 段大娟 ; 赵克宣 ; 李生强 ; 李天胜 |
| 刊名 | 劳动保护
 |
| 出版日期 | 1982 |
| 期号 | 04 |
| ISSN号 | 1000-4335 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104807]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 段大娟,赵克宣,李生强,等. 射频溅射中的电磁波防护[J]. 劳动保护,1982(04). |
| APA | 段大娟,赵克宣,李生强,&李天胜.(1982).射频溅射中的电磁波防护.劳动保护(04). |
| MLA | 段大娟,et al."射频溅射中的电磁波防护".劳动保护 .04(1982). |
入库方式： OAI收割
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