砷化镓阈值电压自动测试系统的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 朱朝嵩 ; 夏冠群 ; 李传海 ; 詹琰 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
 |
| 出版日期 | 2001 |
| 期号 | 04 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 介绍了砷化镓阈值电压的测试原理和测试方法,并完成了Φ3砷化镓阈值电压自动测试系统的设计与研制。该系统包括自动探针台、测量设备和相应的软件。自动探针台的定位精度为10μm,分辨率为2.4μm,速度为251mm/s。阈值电压测量精度为1mV。该系统可进行Φ3砷化镓圆片的MESFET器件参数的自动测量、存储和运算,能给出圆片的阈值电压分布图。该系统还可用于大圆片的电阻率、欧姆接触电阻、背栅电压和光敏特性等的测量。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104826]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱朝嵩,夏冠群,李传海,等. 砷化镓阈值电压自动测试系统的研制[J]. 功能材料与器件学报,2001(04). |
| APA | 朱朝嵩,夏冠群,李传海,&詹琰.(2001).砷化镓阈值电压自动测试系统的研制.功能材料与器件学报(04). |
| MLA | 朱朝嵩,et al."砷化镓阈值电压自动测试系统的研制".功能材料与器件学报 .04(2001). |
入库方式： OAI收割
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